Đề tài: Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực

Tóm tắt

Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kế

và chế tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu

trúc cảm biến này gồm một màng silic chiều dày cỡ 45 micron, ở tâm có thiết kế

thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu

điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lối ra. Trong bài báo này

chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý, qui trình chế tạo, và các khảo sát đặc trưng

của cảm biến.

Fabrication and characterization of michromachined force sensors

Abstract

Silicon micromachined force sensors have been designed and fabricated

successfully for the first time in Vietnam by the MEMS group at ITIMS. The

structure of the sensors consists of a membrane with a stiff center: the membrane

thickness is about 45 microns, the stiff center serves as a forced point. The

mechanical signal is converted into output voltage signal by a Wheastone resistor

bridge or 4 terminal gage diffused on the membrane. In this paper, the sensor

configuration, fabrication process and characteristics have been presented