Các đề tài seminarTổng quan:Phòng sạch (yêu cầu, tạo phòng sạch….)Các thiết bị chiếu sángMặt nạChất cản quangQuá trình truyền hình ảnhCác kĩ thuật tăng độ phân giảiCác phương pháp khắc (mỗi phương pháp nêu nguyên lý, thiết bị, quá trình khắc, ưu và nhược điểm ứng dụng…)Khắc bằng chùm điện tửKhắc bằng tia tử ngoạiKhắc bằng tia XKhắc bằng chùm tia ionĂn mòn ướtSiSiO2SiN, Si đa tinh thểAlGaAsĂn mòn khôPlasmaCơ chế ăn mònChẩn đoán plasmaĐiều khiển điểm kết thúcCác kĩ thuật và thiết bịỨng dụngTrên đây là 9 đề tài dành cho buổi seminar sắp tới. Duy phân các bạn thành từng nhóm để làm nhé. Tài liệu tham khảo dựa trên các file đã đưa. Hình thức chuẩn bị: trình chiếu powerpoint. Thời gian mỗi nhóm báo cáo : 15-30’ (chuẩn bị theo nội dung đã cho ở trên)...