Phân tích xử lý được bao gồm trong việc mô hình hóa hệ thống thông tin. Đối tượng quan tâm của phân tích xử lý là các hoạt động hay xử lý thông tin và các dòng thông tin giữa các hoạt động xử lý này. Kết quả của giai đoạn phân tích xử lý này là lược đồ chức năng (Function schema) bao gồm các biễu diễn của hoạt động, dòng thông tin và các đặc trưng khác.

Lược đồ chức năng còn có thể được gọi là lược đồ xử lý (Process Schemal) của hệ thống thông tin ngược lại với mô hình tĩnh của hệ thống thông tin là mô hình thực thể kết hợp. Trong thực tế tồn tại nhiều loại mô hình xử lý khácnhau:

§ Một số tập trung vào dữ liệu và dòng dữ liệu giữa các hoạt động.

§ Một số tập trung vào tính đồng bộ của các hoạt động bằng cách định rõ điều kiện trước và điều kiện sau của hoạt động.

Nhưng ta chỉ quan tâm đến loại mô hình đơn giản nhưng hiệu quả và khá phổ biến cho giai đoạn phân tích xử lý là mô hình dòng dữ liệu(Data Fow Diagram-DFD). Mô hình DFD gồm các khái niệm chính : Xử lý (Process), dòng dữ liệu (Data flow), Kho dữ liệu (Data store) và Đầu cuối (Terminator hay Actor)