Cấy ION http://www.ebook4u.vn/load-screenshot.htm?screenshotId=9431&thumbnail=200x200 Những ưu điểm của phương pháp cấy ion-Điều khiển chính xác liều lượng và phân bố theo chiều sâu của tạp chất-Có một phổ rộng để lựa chọn các vật liệu làm mặt nạ như ô xýt, chất cảm quang, poly-Si, Si3H4, kim loại, v.v -Không bị ảnh hưởng nhiều từ các công đoạn làm sạch bề mặt phiến.-Có độ đồng đều rất lý tưởng liều chiếu xạ theo chiều ngang-Có thể cấy ion qua lớp oxit hay các mặt nạ mỏng khác-Quá trình cấy ion (và ủ mẫu sau đó) thực hiện ở nhiệt độ thấp hơn, thời gian ngắn hơn so với công đoạn khuếch tán.Nhược điểm-Gây sai hỏng lớn tại bề mặt mẫu do sự bắn phá của chùm ion-Thiết bị đắt tiền, cồng kềnh, đòi hỏi các phục vụ phụ trợ phức tạp Tác giả: Lê Tuấn Nhà xuất bản: Đại học Bách Khoa Hà Nội Loại: pdf (Tiếng Việt) slice...