MỞ ĐẦU

Ngày nay với sự phát triển mạnh mẽ của công nghệ vi cơ điện tử (MEMS), việc phát minh ra các linh kiện mới có kích thước vô cùng nhỏ với tính năng ứng dụng cao đã trỏ thành một xu thế tất yếu của công nghệ điện tử hiện đại. Các linh kiện đã được tích hợp theo quy trình sản xuất theo công nghệ cao góp phần thu gọn các sản phẩm điện tử. Công nghệ vi cơ điện tử đã được phát triển mạnh ở nhiều nước và vẫn đang được được đầu tư phát triển vì trong tương lai công nghệ này sẽ góp phần vào việc phát triển ngành công nghệ điện tử với những ưu điểm của nó. Đề tài khóa luận văn tốt nghiệp trình bày về vấn đề sử dụng sự dịch chuyển tần số tự nhiên của các thanh cantilever đối với nhiều hình dạng khác nhau được ứng dụng trong các bộ cảm biến sinh học. Qua đó chúng tôi tìm ra mô hình cantilever tối ưu giúp cảm biến đạt được yêu cầu độ nhạy cao. Cũng như quy trình chế tạo đạt hiệu quả cao nhất. Một số công việc cụ thể của đề tài: - Tìm hiểu tổng quan về MEMS và công nghệ chế tạo. - Khảo sát thanh cantilever theo nguyên tắc nhạy cảm khối lượng. - Thiết kế mô hình cantilever tối ưu. - Tìm hiểu phần mềm ANSYS và Intellisuite để mô phỏng tính chất và chế tạo. - Mô tả một số ứng dụng. Do thời gian hạn chế và tính chất của một luận văn tốt nghiệp, tác giả mới đạt được một số kết quả mô phỏng ban đầu căn cứ vào các công bố của các tác giả khác trên Thế Giới. Một số hàm phân bố được xác định và mô phỏng chế tạo là phần kết quả chính của tác giả. Nhóm sẽ tiếp tục tìm hiểu và xác định sâu hơn các đặc tính và cấu tạo của thanh cantilever. Tác giả mong nhận được đóng góp ý kiến của các thầy cô, các nhà nghiên cứu, các bạn sinh viên, nhằm hoàn tất nghiên cứu.

CHƯƠNG 1

Giới thiệu về MEMS và cảm biến

Chương 2

Cảm biến khối lượng dựa vào các thanh cantilever

Chương 3

Thiết kế mô hình cantilever tối ưu

Chương 4

Quy trình chế tạo